作者：向诗银; 杨水金xps表面分析化学组成应用
摘要：X射线光电子能谱（XPS）是一种表面分析方法,利用这种方法可以得到样品的化学状态、元素组成等大量的重要信息,在多种材料的基础研究及实际应用中有非常重要的作用。简要介绍了XPS在材料研究中的应用,该表征技术可应用于分析样品元素组成及化学状态、测量超薄膜样品的厚度、对样品中元素进行深度剖析确定元素浓度、对样品进行成像及微区分析得到元素分布情况。
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