X射线荧光光谱法测定硅片中锑、砷、磷

作者：于磊; 胡芳菲; 宋永清x射线荧光光谱法硅片定量分析

摘要：利用X射线荧光光谱法直接测定硅片中锑、砷、磷三个主要元素,选择化学法标定的硅片作为标准,通过仪器绘制标准曲线,计算各元素的检出限及各元素的精密度。用电感耦合等离子体光谱法定量分析三个元素,将两种方法的结果进行比对,所得结果基本一致。因此,通过仪器法和化学法的比较,表明该法与常规化学分析相比,具有简便、成本低、分析速度快,准确等优点。

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