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等离子浸没注入对钛合金表面改性的成分分析

作者:杨征; 黄承敏; 巢永烈离子浸没注入表面改性ti6al4v

摘要:目的:通过等离子浸没注入对钛合金(Ti6Al4V,下同)试样进行表面改性,分析改性后钛合金试样表面的成分。方法:利用等离子浸没注入的方法钛合金表面进行氮离子注入,用X射线衍射和X射线光电子能谱对注入层进行成分分析。结果:离子注入改性后试样的颜色呈淡金黄色色泽,X射线衍射分析和X射线光电子能谱分析结果表明改性后试样的注入层形成了含氮化钛的改性层,其主要化学成分为TiN和Ti4N2.33,不同的基体其氮化物的组成比例有一定的差别。结论:用氮等离子浸没注入的方法处理钛合金试样,能在其表面改性层生成钛的氮化物。

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