HI,欢迎来到学术之家,发表咨询:400-888-7501  订阅咨询:400-888-7502  股权代码  102064
0

不同衬底生长ZnO薄膜的结构与发光特性研究

作者:戴建明; 冯建强; 张瑞丽; 袁广宇; 刘强春...zno薄膜射频磁控溅射蓝宝石光致发光结构表征

摘要:采用射频磁控溅射方法分别在蓝宝石(Al2O3)(0001)和硅(100)衬底上制备ZnO薄膜.通过X-光衍射测量与分析表明两者都沿C轴方向生长,在Al2O3衬底上的ZnO薄膜结晶质量优于在Si衬底上的薄膜样品.然而,由原子力显微镜观测发现在Al2O3衬底上的薄膜晶粒呈不规则形状,且有孔洞,致密性较差;而在Si衬底上的ZnO薄膜表面呈较规则的三维晶柱,致密性好.光致发光测量表明,不同衬底上生长的ZnO薄膜表现出明显不同的发光行为.

注:因版权方要求,不能公开全文,如需全文,请咨询杂志社

淮北师范大学学报·自然科学版

《淮北师范大学学报·自然科学版》(CN:34-1316/N)是一本有较高学术价值的双月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《淮北师范大学学报·自然科学版》以繁荣科学文化、推动教学科研、促进学术交流为办刊宗旨。主要刊登数学,物理,化学,生物,计算机,体育等学科具有较高学术水平和理论水平的中、英文研究论文和研究简讯。

杂志详情