作者：韩开进 周绍骑 刘凯 李学新静电检测测距非线性拟合补偿
摘要：针对现有非接触式静电检测装置存在检测距离近且距离固定等问题，提出了对电位测量进行距离补偿的变距离静电电位检测方案。首先，从电位测量的基本原理出发，分析了距离测量误差与电位测量误差的关系，验证了精确测距的重要性，即要满足电位测量相对误差σv≤±10％，所选测距方式的距离测量相对误差-4．65％≤σd0≤5．41％的技术指标。然后，通过实验研究了检测距离与感应电位的关系，验证了0．5m内对静电电位变距离测量的可行性，得到了对电位测量进行距离补偿的公式雏形Vs（Va，d）=Va（a＋bd）^2。依据此公式雏形以及大量的重复实验，可以得到公式中的各项参数值，编入单片机可实现对静电电位的变距离检测。
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