MOCVD原位监测系统的设计与实现

作者：徐龙权; 许冬; 刘新卫; 方颂原位监测tsm320f28335金属有机化合物化学气相沉积数据采集数据处理人机界面

摘要：设计以TSMF32028335和AD7656为核心的数据采集与处理系统，采用以太网芯片W5300实现开发板与上位机的TCP/IP通信.作为监控端的上位机，采用通过Delphi开发的集数据处理、存储、显示与监控于一体的平台，且具有良好的人机交互界面.应用于自主研发的金属有机化合物化学气相沉积（MOCVD）设备，测试结果表明：该设计具有采集数据准确、通信快速稳定、人机界面友好、程序运行流畅的特点，完全符合工程控制要求.

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