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MOVPE法生长HgCdTe/CdZnTe结构薄膜研究

作者:杨玉林; 张宏伟; 杨宇碲镉汞碲锌镉红外焦平面列阵movpe

摘要:碲锌镉(CdZnTe)衬底是生长红外焦平面列阵(IRFPAs)所用碲镉汞(HgCdTe)薄膜材料的首选衬底.本文讨论在单晶的碲锌镉衬底上,用MOVPE法生长一层碲锌镉过渡层,可以避免单晶碲锌镉衬底的一些杂质和缺陷延伸到碲镉汞薄膜材料中而影响到碲镉汞薄膜的结构质量.实验表明,有碲锌镉过渡层的碲镉汞薄膜的结构质量有了较大改善.

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红河学院学报

《红河学院学报》(CN:53-1196/C)是一本有较高学术价值的大型双月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《红河学院学报》曾先后荣获云南省教委、新闻出版局颁发的“优秀装帧奖”、“优秀编辑奖”、“优秀栏目奖”;1995年在僵高校学报“三优”评比中,荣获专科组第一名、云南省优秀学报二等奖,其中三名编辑分获国家、省级优秀编辑称号。

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