作者：刘喜斌; 余洪斌; 方迪mems变形反射镜静态响应曲线影响函数
摘要：通过对37单元Mems变形镜面形的测量得到了变形镜的电压一位移静态曲线。通过对自适应光学微变形反射镜理论研究推导和实验测试，导出了变形反射镜光学影响函数的矩阵并由此得到电压控制矩阵，从而利用控制电压校正了变形镜的初始面形，为系统波前畸变校正提供了与理论相一致的实验依据。对变形镜校正能力进行了测评，为今后全面优化设计微变形反射镜及其更完美的适应自适应光学系统的需要提供了实验数据与理论支持。
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