一种制备功能薄膜的新型装置的设计

作者：赵桂芳 江超功能薄膜高气压辉光放电微空心阴极放电薄膜制备

摘要：首先概括了功能薄膜的特性、制备方法及其应用领域。然后,介绍了微空心阴极放电的基本结构及应用。最后,利用微空心阴极放电设计了一种新型制备功能薄膜的装置,对该装置的设计过程、工作原理和特点进行了详细的论述。

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