一种类金刚石薄膜新型制备装置的设计

作者：赵桂芳 江超类金刚石薄膜高气压辉光放电微空心阴极放电薄膜制备

摘要：首先概括了类金刚石薄膜的特性及其应用领域。然后,介绍了微空心阴极放电的基本结构与应用领域。最后,利用微空心阴极放电结构设计了一种新型制备类金刚石薄膜的装置,并对该装置的设计原理、工作原理和特点进行了详细的论述。

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