作者：武洪臣; 姚振中; 冯建基; 刘喜华; 刘方军涂层技术电子束物理气相沉积可重复性沉积速率沉积工艺基体温度热障涂层材料性质耐腐蚀性保护作用耐磨性耐冲刷
摘要：电子束物理气相沉积具有很高的沉积速率和较好的工艺可重复性，基体温度是电子束物理气相沉积工艺中的关键因素。除热障涂层外，根据沉积材料性质及工件要求的不同可以使涂层具有耐磨性、耐腐蚀性和耐冲刷等性能，对零件起到保护作用。
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《航空制造技术》（CN：11-4387/V）是一本有较高学术价值的大型半月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《航空制造技术》是中国科技论文统计用刊、中文优秀期刊，曾获航空优秀科技期刊一等奖、全国优秀科技期刊二等奖、“八五”优秀国防科技期刊。本刊全面组织推动制造业科研、生产、销售信息的交流，竭诚为国内外厂商创造更多的社会效益和经济效益。
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