作者：张华芳; 武洪臣; 蒋艳莉; 马国佳; 彭丽平混合制备膜层沉积工艺成膜质量硅基体结合性能离子注入形貌划痕
摘要：采用离子注入、沉积、动态混合注入沉积工艺，在硅基体上制备TiN膜层。用纳米划痕法检测成膜质量，用扫描电镜观察划痕形貌。对比分析结果表明，动态混合离子注入沉积工艺对提高膜层与基体的结合性能效果显著。
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《航空制造技术》（CN：11-4387/V）是一本有较高学术价值的大型半月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《航空制造技术》是中国科技论文统计用刊、中文优秀期刊，曾获航空优秀科技期刊一等奖、全国优秀科技期刊二等奖、“八五”优秀国防科技期刊。本刊全面组织推动制造业科研、生产、销售信息的交流，竭诚为国内外厂商创造更多的社会效益和经济效益。
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