压电式快刀加工微透镜阵列的前馈控制算法研究

作者：刘艺; 王波; 刘广润快刀伺服压电促动器非线性校正微透镜阵列

摘要：根据压电陶瓷一般控制方法,针对微结构阵列加工中所面临的周期性驱动信号,提出了差值补偿法和多项式校正法两种修正非线性输出的前馈算法,并在压电式快刀装置上进行加工实验,结果表明采用多项式校正法的开环前馈控制算法可将输出位移的最大误差由6.455%降低至1.742%,可有效提高微结构阵列加工精度。

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