作者：刘远航; 王波; 乔政; 吴言功; 刘长江超精密加工液体静压丝杠液体静压导轨运动分辨率
摘要：本文设计了液体静压丝杠驱动的超精密直线运动系统,完成了机械结构、控制系统装配与搭建;通过实验表明液体静压丝杠驱动的运动系统能够达到10nm运动分辨率（反馈分辨率5nm）,具有良好的刚度特性、稳态特性以及动态跟踪特性,适合作为超精密加工设备的驱动装置。
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《航空精密制造技术》（CN：11-2847/V）是一本有较高学术价值的大型双月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。
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