作者：宁建华光刻技术层板喷注器膜片阀
摘要：介绍了应用双面自对准光刻技术刻蚀金属板片的工艺原理、方法、工艺参数的选取原则以及双面自对准光刻模具设计准则，该项技术已成功应用于液体火箭发动机层板喷注器和膜片阀的研制和生产之中。
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《火箭推进》（CN：61-1436/V）是一本有较高学术价值的大型双月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《火箭推进》始终以刊发火箭推进技术的研究和应用新技术、新成果，开展学术交流，促进我国相关领域科技进步和发展为办刊宗旨。
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