银纳米透明电极化学气相沉积溅射沉积导电薄膜脉冲激光沉积有机聚合物氧化铟锡光电功能材料光电子产业
摘要：柔性透明电极在电子与光电子产业的发展中占有举足轻重的地位,是制备众多电子与光电子元器件不可缺少的光电功能材料。目前,柔性透明电极主要是在透明有机聚合物基底上,采用溶胶-凝胶、化学气相沉积、真空蒸发沉积、溅射沉积、脉冲激光沉积等方法引入氧化铟锡（ITO）导电薄膜。但是,该方法存在致命弱点：（1）金属铟面临资源枯竭;（2）制备工艺昂贵且需要高温。
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