射频感应等离子体的Langmiur探针和光谱诊断

作者：张健; 任春生; 齐雪莲; 王友年langmuir探针发射光谱感应耦合等离子体等离子体参数

摘要：用Langmuir探针对射频（13．56Mnz）感应等离子体进行了诊断，给出了Ar等离子体轴向和径向参数随气压的变化。采用发射光谱测量了等离子体中氩原子的750．3nm谱线强度随气压在轴向的变化，其变化趋势与Langmuir探针测量结果的变化趋势相一致。测量了氩离子的434．8nm谱线强度随气压在轴向的变化并获得了氩离子的434．8nm谱线强度与氩原子的430．0nm谱线强度的比值在轴向三个不同位置的变化。从测得的结果可知：在放电室中上部形成了均匀稳定的高密度等离子体，在靶附近有所降低，在中部以下等离子体密度逐渐变低；在径向6-7cm以内的区域等离子体参数变化不大，形成了均匀稳定的等离子体，等离子体参数在器壁处变化明显。

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