作者：丁振峰; 霍伟刚; 王友年感应耦合等离子体电容性耦合射频自偏压非线性鞘层
摘要：采用调节射频电感性耦合等离子体中基片电极与地之间的外部电路阻抗的方法,控制基片电极的射频自偏压.研究了调谐基片自偏压随外部调谐电容值的变化特征,得到了调谐基片射频自偏压随射频放电功率、气压的变化曲线.在一定放电参数区域内,调谐基片射频自偏压随调谐电容的变化曲线呈现跳变、双稳、迟滞现象.
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《核聚变与等离子体物理》（CN：51-1151/TL）是一本有较高学术价值的大型季刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《核聚变与等离子体物理》的办刊宗旨是，促进核聚变与等离子体物理研究中的理论、工程及实验成果的学术交流，推广核聚变研究中间技术及低温等离子体应用方面的成果，发现和培养人才，促进核聚变与等离子体物理学科不断向前发展。
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