作者：田会娟化学气相沉积纳米氧化锌锌源二氧化硅
摘要：通过改变锌源中SiO2的添加量,研究了Zn源的变化对产物形貌和光致发光性能的影响,并探讨了产物的生长机理。采用扫描电子显微镜（SEM）、X-射线衍射仪（XRD）、室温光致发光谱（PL）等对产物形貌和性质进行了表征。SEM结果表明产物形貌经历了从铅笔状到钉状再到棒状的变化过程。XRD结果说明所有产物沿c轴择优生长。PL表明产物绿光发射峰相对较强,紫外发射峰相对较弱。锌源电镜照片及锌源的残余物照片表明SiO2粉的加入改变了锌源的蒸发速率。
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