作者：冯宗财抗蚀剂超支化聚合物感光性能
摘要：通过凝胶率对曝光能量的变化,研究显影液、光敏剂用量等对超支化聚合物光致抗蚀剂感光性能的影响.结果表明：四甲基氢氧化胺水溶液对超支化聚合物光致抗蚀剂的溶解能力比碳酸钠强,对感光性具有较大的影响;当显影液相同时,随着引发剂的量增大,E0,gel减小,反差γgel在引发剂的用量为6%时,可达到8.13,E0,gel达到5.5mJ/cm2.
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《化工新型材料》（月刊）创刊于1973年，由中国石油和化学工业联合会主管，中国化工信息中心主办，CN刊号为：11-2357/TQ，自创刊以来，颇受业界和广大读者的关注和好评。 《化工新型材料》主要报道国内外新近发展和正在开发的具有某些优异性能或特种功能的先进化工材料的研究开发、技术创新、生产制造、加工应用、市场动向及产品发展趋势。
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