西门子法生产多晶硅工艺设计改良分析

作者：杨凯; 施晨鹏西门子法多晶硅生产工艺设计改良

摘要：近年来,人们不断深入研究并开发太阳能资源,对原材料的需求也在不断提高,从而促进了多晶硅行业的发展。通过改进并创新多晶硅生产工艺技术,使多晶硅生产过程中不但提升了生产的效率和质量,同时还降低了一定量的成本。因此,改良西门子法成为目前生产多晶硅技术中最成熟、扩展速度最快、应用最广泛的技术。本文对改良西门子法生产多晶硅过程中各个程序进行分析,希望能为众多工业行业生产人员提供一定的帮助。

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