作者：解瑞珍; 张凡; 刘兰; 任小明; 薛艳; 刘卫微雷管换能元发火电压集成
摘要：针对MEMS安全保险机构的发展对起爆单元平面化的需求,利用SOI片特有的三层结构,开展了硅基平面微雷管的设计研究。以SOI片的外延硅作为平面微雷管原位装药用专用电极,提升了微雷管结构与原位装药工艺的兼容性。以SOI片的本体硅作为装药腔体层,减少了微雷管的轴向尺寸,提高集成度。性能试验表明该硅基平面微雷管实现了发火及起爆下级装药的功能。
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《火工品》（CN：61-1179/TJ）是一本有较高学术价值的大型双月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《火工品》主要刊登国内外军民用火工品与烟火的新技术、新产品、药剂配方、加工工艺、分析测试方法、国内外烟花及国内外科技生产发展水平及动态。
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