作者：周舟; 江宏富; 吕磊冷氢化技术现状预期
摘要：本文介绍了改良西门子法生产多晶硅的过程中,副产四氯化硅氢化工艺的技术发展现状,简要分析了国内外氯氢化技术水平,并对未来的市场预期和技术发展方向进行了预测.
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