作者：阚君武; 杨志刚; 刘品宽; 程光明腔体压电泵输出特性驱动电压串联频率压电振子压电驱动微型泵压电薄膜
摘要：介绍了一种新的双压电振子驱动的两腔三阀串联压电泵(以下简称两腔串联压电泵)的结构和工作原理.利用厚度0.18 mm、直径30 mm的压电薄膜制作了尺寸为φ38mm×3.5 mm的两腔体串联压电泵,并以水为介质测试了压电泵的输出性能.实验结果表明,在工作电压和频率相同的情况下,由两个性能相同腔体构成的串联压电泵的输出压力等于单个腔体独立工作输出压力的2倍,输出流量等于单个腔体独立工作输出流量的1.4～2.0倍,与理论分析的结果一致.实验测得两腔体串联压电泵的最大流量和压力分别为11.75 ml/min(驱动电压70 V、频率为50 Hz)和21.9 kPa(驱动电压70 V、频率为20 Hz).
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
