作者：李若瑜; 李斌; 罗宏伟; 师谦总剂量x射线试验辐照空间辐射源环境危害在线测试栅氧化层辐射机理剂量率硅片封装
摘要：传统辐照总剂量试验的辐射源均采用60Co,对环境危害较大.X射线作为辐射源具有安全、剂量率控制准确等优点,可进行硅片级的测试甚至在线测试,从而大大降低封装、测试、运输的成本,提高研发效率.从辐射机理和辐射对栅氧化层影响的角度深入地论证了用10keV X射线代替60Co作为总剂量试验辐射源的可行性.
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
《核电子学与探测技术》（CN：11-2016/TL）是一本有较高学术价值的大型双月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《核电子学与探测技术》为专业学术性刊物。刊登核仪器、核电子学、核探测器与测试技术方面的研究成果和论文。读者对象为核电子学、核探测技术方面的研究人员及大专院校师生。
省级期刊
人气 366725 评论 69
人气 252327 评论 66
人气 249757 评论 47
部级期刊
人气 248914 评论 10
