作者：钟晓晖; 周树光; 翟玉玲mems技术微型热泵微细加工技术微型化
摘要：微型热泵是指特征尺寸为＂厘米级＂的热泵,可用于建筑物、交通工具、衣服或其它装置的供暖或制冷。微电子机械系统（MEMS）的迅速发展,使过程机械装置的微型化和轻量化成为可能,将MEMS技术应用于热泵,其体积和传统装置相比可以缩小到60倍以上。对几种微制造技术进行了比较,并介绍了MEMS技术在微型热泵中的应用。
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