作者：段润保; 赵砚江; 毛言理微机械微细加工mems超精密机械加工电子柬刻蚀微细电火花加工微细超声加工
摘要：首先对微机械(MEMS)的分类及其特点作了简明的阐述,在此基础上,着重评介了近年来该领域各种微细加工方法及其能够达到的加工尺度与水平.指出当前微细加工技术仍然在以使用物理和化学能量的特种加工为主,并呈现加工材料扩大化、产品机构复杂和加工手段复合化的发展态势.
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