作者：李新华 杜成飞 黄贤蕾 杨垂恭晶圆清洗机无刷电机齿槽转矩脉动转矩计算机仿真
摘要：齿槽转矩对无刷电机低速性能产生重要影响．采用计算机仿真方法研究晶圆清洗机无刷电机的齿槽转矩问题，包括极槽配合、磁极以及定子斜槽／转子斜极对无刷电机齿槽转矩的影响，在此基础上提出晶圆清洗机无刷电机的优化设计方案。
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