作者：杨练根位移传感器表面形貌动态特性音圈电机
摘要：分析了由一个高分辨率的电感和音圈电机组成的微恒力位移传感器的结构,论述了传感器的动态特性测试和数字仿真方法,给出了测试和仿真的结果.
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