作者：徐小俊低温相变智能窗磁控溅射
摘要：用磁控溅射法和退火处理在石英衬底上制备了高质量的二氧化钒薄膜,实验结果显示制备的薄膜为纳米级,晶粒均匀。相变前后薄膜电阻变化了4个数量级,说明制备的薄膜具有很好的相变特性。电学和光学实验均证明了制备的薄膜相变温度在53℃左右,比纯的单晶VO2具有低温相变特性。热致相变实验和分光光度计测试结果均显示VO2薄膜在红外波段具有很高的开关率,在波长为3.36处开关率达到70.1%,进一步证明了制备的VO2薄膜在智能窗应用方面具有实用性。
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