作者：刘琦; 张楠; 杨建军超快激光亚波长结构超快激光加工薄膜真空环境
摘要：实验研究了蓝色飞秒激光（1kHz,50fs,400nm）在105 Pa（标准气压）和10-3 Pa两种不同气压环境下,在单晶硅衬底的金属铬膜表面形成亚波长（-250nm）一维周期性条纹结构的情况,分析比较了入射激光能流、样品扫描速度、样品薄膜厚度等参数对表面条纹结构的影响.结果表明,10-3 Pa的真空环境可以有效改善铬膜表面亚波长条纹结构的形成质量;随着铬膜厚度的减小（100-25nm）,表面条纹质量逐渐提高,但当铬膜太薄（≤25nm）时材料表面易出现烧蚀不均匀现象;另外,随着飞秒激光能流密度的降低或扫描速度的增大,条纹结构的空间周期将会减小,此时条纹之间的沟槽内逐渐出现纳米线分布.
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