作者：刘冬梅; 王晓娟; 付秀华; 张静; 潘永刚光学薄膜窄带滤光膜真空镀膜离子辅助沉积光学特性膜系设计膜厚监控
摘要：在空间光通信系统中，为满足光学系统对滤光膜的特殊要求，研制出了一种近红外宽截止窄带滤光膜，实现了降低深背景范围内杂散光干扰的要求．通过对薄膜材料特性的研究、膜系设计曲线的不断优化，得到了相对易于制备的窄带滤光膜结构；采用电子柬加热蒸发及离子辅助沉积技术制备薄膜，采用光控加晶控同时监控的方法监控膜层厚度，通过不断优化工艺参量，提高中心波长处的透过率，最终成功得到了光谱性能较好的滤光膜．经光谱测试表明：所镀膜层在800～l530nm、1600～1800nm波段平均透过率低于0．3％，1565nm单点透过率高于92％，通带半带宽为18nm，满足光学系统的使用要求．
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