作者：李帅; 吴远大; 尹小杰; 安俊明; 李建光; ...绝缘硅微环谐振热光效应滤波器串扰
摘要：采用电子束光刻和感应耦合等离子刻蚀等工艺，研制了一种基于绝缘硅材料的的微环谐振可调谐滤波器．滤波器微环半径为5肚m左右，波导截面尺寸为（350～500nm）×220nm不等．测试结果表明，波导宽度为450nm时器件性能最为理想，其自由频谱宽度为16．8nm，1．55μm波长附近的消光比为2，2．1dB．通过对微环滤波器进行热光调制，在21．4℃～60℃温度范围内实现了4．8nm波长范围的可调谐滤波特性，热光调谐效率达到0．12nm／℃．研究了基于单环和双环的多通道上下载滤波器，实验结果表明多通道滤波器的信号传输存在串扰，主要是不同信道之间的串扰，尤其在信号上戢时，会在相邻信道产生较大串扰．
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