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超短脉冲激光烧蚀绝缘体材料机理的耦合理论模型

作者:林晓辉; 孙元征; 杨决宽; 陈云飞超短脉冲激光雪崩电离多光子电离烧蚀损伤

摘要:基于电子能带理论,以动力论的Fokker—Planck方程为基础,从微观层次对超短脉;中激光烧蚀绝缘体材料的机理进行分析研究.源项中分别考虑了雪崩电离、多光子电离机制,并考虑了电子能量与散射机制对电子弛豫时间的影响.建立了绝缘体烧蚀机理的耦合数学模型,其计算的激光烧蚀临界能量密度阀值与实验结果很好的吻合.定量描述了超短脉冲激光对绝缘体材料烧蚀微观过程的影响.

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光子学报

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