作者：彭新玲; 赵高扬光波导微细图形溶胶一凝胶化学修饰
摘要：采用溶胶一凝胶技术与化学修饰相结合的方法，制备了具有紫外感光特性的SiO2／Al2O3溶胶及其凝胶薄膜，并通过在溶胶中加入聚乙二醇使其形成有机-无机复合结构，经一次提拉制膜就可获得18μm厚的感光性凝胶薄膜．利用薄膜自身的感光性，使紫外光通过掩模照射薄膜，再经过溶洗和200℃、1h的热处理，就可获得厚度达到15μm、线宽约为100μm的波导阵列．对这种波导薄膜的折射率和的透射率进行了研究．
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