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数字仿真形貌影栅云纹法及实验系统的原理

作者:云大真; 云海; 雷振坤形貌影栅云纹法影栅虚云纹场仿真技术误差评估

摘要:基于影栅虚云纹场的概念,提出并实现了对形貌影栅云纹法利用计算机布置影栅云纹仪各种光场,自动生成高质量全场仿真影栅云纹图,建立了一种数字仿真形貌影栅云纹法自动测量和处理一体化实验系统(全文简称为实验系统)。系统特别适合于作为形貌影栅云纹法误差分析的评估系统,对光场布置不同的影栅云纹仪及其对应的相移值近似程度不一样引起的初始系统误差进行分析、预测和评估,给出减少这种系统误差应遵循的准则。

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光子学报

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