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6H-SiC高场输运特性的多粒子蒙特卡罗研究

作者:王平; 周津慧; 杨银堂; 屈汉章; 杨燕; 付...多粒子蒙特卡罗研究各向异性漂移速度平均能量电子碰撞电离率

摘要:采用非抛物性能带模型,对6H-SiC高场电子输运特性进行了多粒子蒙特卡罗(Ensemble Monte Carlo)研究.研究表明:温度为296K时,电子横向漂移速度在电场为2.0×10^4V/cm处偏离线性区,5.0×10^5V/cm处达到饱和,由EMC方法得到的电子横向饱和漂移速度为1.95×10^7cm/s,纵向为6.0×10^6cm/s,各向异性较为显著,当电场小于1.0×10^6V/cm时,碰撞电离效应对高场电子漂移速度影响较小。另一方面,高场下电子平均能量的各向异性非常明显,电场大于2.0×10^5V/cm时,极化光学声子散射对电子横向能量驰豫时间影响较大,当电场一定时,c轴方向的电子碰撞电离率随着温度的上升而增大,对非稳态高场输运特性的分析表明:阶跃电场强度为1.0×10^6V/cm时,电子横向瞬态速度峰值接近3.0×10^7cm/s,反应时间仅为百分之几皮秒量级。

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