作者:李鸣明; 孙燕; 赵宏宽带光源白光干涉相位跟踪
摘要:提出了利用相位跟踪法测量薄膜厚度分布的新方法,介绍了测量系统各部分的结构,给出了测量结果.实验表明,对于硅片上的PbTiO3薄膜,测试误差小于7nm.
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