作者：陈孟祥; 刘倍雄传感器频率测量频率自适应响应时间
摘要：测试电磁激励硅基MEMS谐振式压力传感器的工作过程,利用自适应周期方法完成传感器频率的快速同步测试。选择STM32F3单片机来建立频率测试与压力数据处理系统,并且为STM32F3单片机构建了16位计数器。MCU可以完成对传感器2路频率进行同步采集并对压力开展同时解算分析,之后再利用RS232通信模块来输出压力值。性能测试得到:在系统误差范围小于0.05 Hz的情况下,系统实现了比20 ms更少的响应时间,满足测试条件。测试结果的平均误差与采样时限间呈现反比变化的规律。不同的频率下通过自适应周期采样得到的测量误差保持稳定,符合谐振式压力传感器的测试条件。在升温过程中传感器输出压力与标准器偏差小于±30 Pa,达到了测试要求。
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