作者:ROBERTA.ESCOBEDO; 纪永亮半导体公司设备规范临时性fab质量水处理系统工艺设计气体传输电去离子离子交换
摘要:某半导体公司约定了一临时性的水处理系统,在其主要设备升级期间用以提供精处理回路的补水,工艺设计包括双通道反渗透(RO)、气体传输膜(GTM)、电去离子(EDI)、离子交换(IX)精处理和过滤。本报告提供的数据表明,补水的电导率、TOC、二氧化硅、溶解氧等水质指标始终优于设备规范。
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