作者：林玉敏 戴广乾 边方胜功分网络平面集成电阻电气互联
摘要：本文主要阐述了微波功分网络集成工艺的关键技术和途径,包括层间电气互联、盲槽结构实现,以及内埋平面集成电阻等。设计制作了工作频段在6-18GHz的四层典型功分网络样件,该功分网络幅度一致性1dB,相位一致性15°,同套网络各端口间隔离≥20dB。采用该工艺制作的功分网络可以在有限尺寸内实现通道的相位和幅度控制以及不同组件间的幅相一致性补偿,这是采用传统的混合集成工艺完全无法实现的。
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