应用材料公司金属栅极介电常数刻蚀系统存储器件高温技术
摘要:Carina刻蚀系统采用高温技术为采用高K介电常数/金属栅极的逻辑和存储器件提供工艺扩展所必需的材料刻蚀轮廓。
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《工业和信息化教育》(CN:10-1101/G4)是一本有较高学术价值的大型月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《工业和信息化教育》致力于打造工业和信息化领域职业教育和高等教育研究与创新成果的交流与应用互动平台,大力推广和传播现代教育理念、教育体系、教学模式、教学方法和教育技术,为全面提高职业教育和高等教育办学水平和教育质量,培养适应我国经济社会发展所需要的新型工业化和信息化相融合的各层次优秀人才做出贡献。
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