金属栅极解决方案合作开发蚀刻高级air材料适用半导体行业
摘要：服务于半导体行业的单晶圆清洗解决方案SEZ（瑟思）集团和工业和医疗气体及相关服务的供应商Air Liquide（液化空气公司）联合宣布，双方将通力合作．携手解决生产线前段（FEOL）的先进金属栅极蚀刻所面临的化学制剂的挑战．45纳米技术标准下的高k值门极绝缘体和高级金属栅极的电极预计会带来许多的制程挑战．
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