作者：董建勇; 艾曼灵; 金波; 顾培夫透反射率仪光学薄膜对称系统自校准
摘要：基于反射率测量原理,提出了一种具有对称性和自校准的薄膜透反射率测量仪器.仪器具有两个照明系统和两个光收集系统,并分别对称地置于样品台的两侧,测量时测量光线依次经过照明系统、样品和光收集系统.由于该设计具有对称性,因而可消去光学系统的不对称误差,而且可实现自校准功能,同时获得垂直入射情况下薄膜的反射、透射和光学损耗.
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