作者：李广波; 龙文华; 贾科淼; 江晓清; 王明华...集成光学光波导硅键合
摘要：采用硅-玻璃键合和选择性腐蚀技术研制出了玻璃上硅(SOG)光波导材料.所研制出的光波导材料表面质量主要取决于所用绝缘体上硅(SOI)材料.当所用SOI材料为基于SIMOX技术的材料时,表面RMS粗糙度为3nm左右,自相关长度为100nm左右.采用SOG材料所制作出的脊型光波导的传输损耗与相应的SOI材料上制作出的光波导相当.这种光波导材料既具有SOI材料的众多优点,还可以在器件制作中同时实施硅的下界面处理,同时它采用玻璃作为波导的下限制层,得到较厚的下限制层.
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