基于自适应模拟退火算法的薄膜特性参数计算方法研究

作者：刘鹏; 刘玉玲; 余飞鸿全局优化自适应模拟退火算法共轭梯度算法薄膜测量

摘要：提出了根据测量得到的待测薄膜的透射率数据,采用全局优化算法-自适应模拟退火算法结合共轭梯度算法求解薄膜的光学特性参数.并对Ta2O5单层薄膜的厚度及折射率进行测量计算.实验结果表明,计算得到的光学特性参数值与实测结果相一致,厚度误差小于3nm,在540nm处折射率误差小于0.02.该方法具有操作简单、无损测量、计算速度快、精度高等优点,具有相当的实用性.

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