作者:吴栋; 朱日宏; 陈磊; 王青; 何勇; 高志山移相干涉术抗振干扰干涉测量干涉图测试技术干涉仪动环振动高精度
摘要:移相干涉术易受环境振动的干扰,影响高精度的测量目的.为了进行振动环境下在线光干涉测试,必须采用有效的抗振技术.从移相算法、干涉图采集、光学结构、振动探测与补偿等方面介绍了移相干涉仪抗振技术的研究进展.目前具有抗振功能的移相干涉测试技术日益受到重视.
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