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激光球面干涉仪系统误差的测量

作者:吴航行波像差干涉测量移相技术相位展开

摘要:为了定标测量系统、提高测量精度,在简要论述了激光球面干涉仪的原理以后,采用移相技术,获得了四幅干涉图,并提取出范围在[-π,π)之间的相位.然后,利用相位消跳变算法,展开得到连续的相位.最后经过消倾斜和离焦等后继处理,得到了系统的波面误差.

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光学仪器

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