作者：马云飞; 王自鑫; 江绍基; 佘卫龙; 朱析; ...近红外光学薄膜膜厚监控锁相放大光学镀膜压噪
摘要：在光学真空镀膜膜厚监控过程中,近红外波段信号弱、外界干扰大、信噪比低,难于检测监控.运用相干检测、锁相放大原理,在光学真空镀膜机可见光波段监控系统的基础上,自行研制锁相放大器和改装近红外探头,成功地实现了近红外信号的压噪、放大、滤波和检测监控.
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