激光薄膜缺陷研究

作者：凌秀兰; 黄伟; 孔明东; 张云洞光学薄膜激光损伤损伤阈值激光薄膜薄膜缺陷

摘要：薄膜缺陷是影响薄膜元件抗激光损伤的重要因素之一,长期以来一直是人们关注和研究的问题.首先介绍了薄膜缺陷的种类、特点及成因.在此基础上,分析了缺陷对激光损伤阈值的影响以及激光预处理对缺陷的影响.最后,对于如何减少缺陷和提高损伤阈值作了讨论.

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